启迪专精特新丨国产首台!金竟科技电子束曝光机获北京市重大技术装备认证打印
发布时间:2025-10-21来源:金竟科技
近日,启迪投资企业——北京金竟科技有限责任公司自主研发的Pharos 310电子束曝光机正式获得北京市首台(套)重大技术装备认证,标志着该产品成为经官方权威认证的首款国产商业化电子束曝光设备。此次获得首台(套)认证,不仅是对金竟科技技术实力的高度认可,也是我国在高端科学仪器领域自主创新能力的有力证明。
电子束曝光机又称电子束光刻机,广泛应用于微纳米加工、半导体器件制备等国家战略相关领域。此前,我国在该领域长期依赖进口,并屡遭禁运,严重制约了科技事业发展。金竟科技推出的Pharos系列电子束曝光机打破了这一局面,为解决该领域“卡脖子”困境提供了关键支撑。